中国EUV光刻机什么时候能造出来?中国的集成电路产业始于什么时期?

1949 年新中国成立时,西方世界正处于电子技术革命的前夜。当美国贝尔实验室的科学家们在 1947 年发明晶体管,开启微电子技术新纪元时,百废待兴的中国在半导体领域几乎是一片空白。然而,正是在这样的起点上,中国开启了一段波澜壮阔的集成电路产业发展历程。从 1956 年将半导体技术列入 "十二年科学规划",到 2025 年在部分领域实现技术突破,​76 年的发展历程见证了中国从技术引进到自主创新、从跟跑到并跑的历史性跨越

当前,在全球半导体产业链重构、技术封锁加剧的背景下,中国集成电路产业正处于关键转型期。一方面,美国等西方国家通过技术出口管制、实体清单等手段,试图遏制中国半导体产业的发展;另一方面,中国在成熟制程、特色工艺、芯片设计等领域展现出强大的创新活力和市场韧性。

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一、奠基时期(1949-1977):从零起步的艰难探索

1.1 学科开创与人才摇篮(1950 年代)

新中国的半导体事业始于一批海外归国科学家的赤子之心。​1951 年,黄昆结束与诺贝尔奖得主玻恩的合作,毅然回国担任北京大学教授;谢希德获得麻省理工学院博士学位后绕道英国回国,于 1952 年加入复旦大学物理系。这两位后来被誉为 "中国半导体之母" 的科学家,为中国半导体学科的建立奠定了重要基础。

1956 年成为中国半导体产业发展史上的关键节点。这一年,国家制定了《1956-1967 年科学技术发展远景规划纲要》,​将计算机、无线电、半导体和自动化列为国家生产和国防需要紧急发展的四大领域。同年,黄昆与谢希德在北京大学联合创办了中国首个半导体物理专业,开设五校联合培训班(北大、复旦、南大等),培养出了王阳元(中芯国际创始人)、许居彦(华晶总工程师)等奠基性人才。

1958 年,谢希德调回复旦大学,创立上海技术物理研究所,推动南方半导体研究的发展。同年,美国发明了集成电路,而中国则在 1965 年由中科院和河北半导体研究所研制出首块硅基集成电路,虽然​比美国晚了 7 年,但已经展现出较强的技术追赶能力

1.2 产业初建与技术突破(1960-1970 年代)

进入 1960 年代,中国半导体产业建设全面展开。1960 年,​中国科学院成立半导体研究所,同年组建河北半导体研究所(现为中电集团第 13 所),进行工业技术攻关。1962 年,由中科院半导体所组建了全国半导体测试中心。1963 年,中央政府组建第四机械工业部(简称 "四机部"),主管全国电子工业,为产业发展提供了强有力的组织保障。

技术突破方面取得了重要进展。1965 年,中科院半导体所在研制成功超小型硅平面晶体管的基础上,从 1964 年第三季度起开始了固体组件(后来称为集成电路)的研制工作。​到 1965 年 4 月,研制成功了四种固体组件,其中一块组件内含有 7 个晶体管、1 个二极管、7 个电阻和 6 个电容,这是中国最早研制成功的固体组件。同年 12 月,河北半导体研究所召开鉴定会,鉴定了第一批半导体管,标志着中国集成电路产业发展进程的正式开始。

这一时期,中国在集成电路技术方面展现出了较快的追赶速度。1968 年,中国国防科委成立固体电路研究所(现中电集团 24 所),这是中国唯一的模拟集成电路研究所。同年,​上海无线电十四厂首家制成 PMOS(P 型金属 - 氧化物半导体)电路,拉开了中国发展 MOS 集成电路的序幕

值得注意的是,1972 年解放军 1424 所研发出首块 PMOS 大规模集成电路,​比美国晚 6 年,显示出中国在技术追赶方面的努力和成效​。1975 年,北京大学物理系半导体研究小组由王阳元等人设计出中国第一批 3 种类型的(硅栅 NMOS、硅栅 PMOS、铝栅 NMOS)1K DRAM 动态随机存储器,虽然比美国英特尔公司研制的 C1103 要晚 5 年,但​比韩国、台湾要早四五年

1.3 早期光刻机研发的起步尝试

中国光刻机的研制工作始于 20 世纪 60 年代,这一时期主要是技术起步和探索阶段。​1966 年,中科院下属 109 厂与上海光学仪器厂协作,成功研制出我国第一台 65 型接触式光刻机,这标志着中国在光刻机领域的初步探索

早期的光刻机研发主要集中在接触式和接近式技术。1965 年研制成功首台接触式光刻机(非投影式),1977 年上海光学机械厂研制出了我国第一代半自动接近式光刻机。进入 70 年代,中国科学院开始研制计算机辅助光刻掩模工艺,并于 1977 年成功研制出中国第一台 GK3 型半自动接触式光刻机。

在三线建设的背景下,1969 年宝鸡无线电技工学校与筹建中的 4503 厂合并,组建为国营建光机器厂,作为国家 17 个重点军工项目之一,整合了上海、南京的优质技术资源,专攻半导体设备研发。​七十年代中期,建光机器厂迎来技术爆发:中国第一代接触式光刻机成功研制,随后迭代至第三代,与国际同期水平仅相差约 10 年

二、转型探索时期(1978-1999):技术引进与产业阵痛

2.1 改革开放后的技术引进浪潮

改革开放为中国半导体产业带来了新的发展机遇。1978 年,​无锡 742 厂引入中国首条日本东芝 3 英寸全产业链生产线,1989 年以此为基础成立华晶电子集团,被誉为 "中国微电子黄埔军校",输出超 500 名产业骨干。这条生产线的引进,标志着中国半导体制造从实验室走向工业化生产的重要转折。

1986 年,国家提出了雄心勃勃的 "531 战略",即普及 5μm、研发 3μm、攻关 1μm 技术。然而,由于经费短缺(计划投资 15 亿仅落实部分)和 "重设备轻技术" 的问题,北方微电子基地解散,北京老厂逐渐退出历史舞台。这一教训深刻地说明了技术引进不能简单地依靠设备购买,更需要重视技术消化吸收和自主创新能力的培养。

1986 年,北京成立第一家 IC 设计企业华大集成电路,同时期,长三角集成电路产业迅速发展,涌现出上海华虹、中芯国际、长电科技、通富微电、华越微电子,成为 20 世纪末国家集成电路重点发展的五大支柱企业

2.2 908 工程:大规模投资的尝试与教训

1990 年,中国启动了 "908 工程",这是中国集成电路产业发展史上的重要里程碑。​1990 年 8 月,国务院决定在 "八五" 计划(1990-1995)期间,半导体技术达到 1μm 制程,决定启动 "908 工程",总投资 20 亿元,其中 15 亿元用于无锡华晶电子,建设月产能 1.2 万片的 6 英寸晶圆厂

然而,908 工程的实施过程充满了曲折。由于审批耗时长达 5 年,1997 年投产时技术已经落后国际 4 代,这一教训深刻地反映了中国在产业发展决策机制和项目管理方面存在的问题。​无锡华晶获得 15 亿投资建设 1.2 万片 / 月晶圆厂,因审批耗时 5 年,1997 年投产时技术已落后国际 4 代

尽管如此,908 工程仍然为中国集成电路产业培养了大量人才,积累了宝贵的经验。1996 年 4 月 9 日,"909 工程" 的主体承担单位 —— 上海华虹微电子有限公司正式成立,1997 年 7 月 17 日,上海华虹 NEC 电子有限公司成立,标志着中国集成电路产业进入了新的发展阶段。

2.3 国际设备引进与自主研发的并行发展

这一时期,中国在光刻机领域也取得了重要进展。1980 年,中国的研发团队推出了可加工 0.8 微米线宽的 "自动对准分步投影光刻机",填补了国内空白。1981 年,中国科学院半导体所研制成功 JK-1 型半自动接近式光刻机。

1985 年成为中国光刻机技术发展的重要年份。这一年,​机电部 45 所研制出了分步光刻机样机,通过电子部技术鉴定,认为达到美国 4800DSW 的水平。同样在 1985 年,中国科学院上海光学精密机械研究所研制的 "扫描式投影光刻机" 通过鉴定,为我国大规模集成电路专用设备填补了一项空白

1988 年,中国开始从荷兰 ASML 公司引进先进的光刻机设备。​第一台 PAS 5000 步进式光刻机卖给了清华大学,用于科研和教学。到 1995 年,中国累计从 ASML 购买的设备超过了 20 台,公司还在北京和上海设立了支持中心,负责备件和维修

2.4 企业发展的多元化探索

1990 年代,中国集成电路企业开始呈现多元化发展态势。1999 年,华虹集团成为上海贝岭的控股股东,2015 年 7 月,华大半导体成为上海贝岭控股股东,公司实际控制人仍为 CEC。1999 年,华大电子成立,这是专业从事安全芯片开发的集成电路设计企业。

封装测试领域也取得了重要进展。1972 年成立的江阴晶体管厂(长电科技前身)在 2000 年改制为江苏长电科技股份有限公司,2003 年成功登陆 A 股,成为国内首家上市的封测企业。1994 年在江苏南通成立的通富微电子,后来发展成为国内第二、全球第四的封测企业。

三、世纪之交的突破与挫折(1990-2009):自主创新的艰难起步

3.1 中芯国际的创立与快速崛起

21 世纪初,中国集成电路产业迎来了重要的发展机遇。​2000 年 4 月,中芯国际在上海成立,由 "中国半导体教父" 张汝京主导,旨在推动中国大陆半导体自主化。2001 年 9 月,上海首座 8 英寸晶圆厂投产,标志着中国大陆进入主流半导体制造领域

中芯国际的发展速度令世界瞩目。2004 年 3 月,公司在香港联交所和美国纽交所同时上市,获得国际资本支持,加速了产能扩张和技术研发。通过收购天津摩托罗拉晶圆厂、与 IBM 合作等方式,中芯国际逐步突破了 90 纳米、65 纳米制程技术。

然而,中芯国际的发展并非一帆风顺。2009 年,因与台积电的专利纠纷及法律诉讼,公司先进制程研发受阻,张汝京辞去 CEO 职务,进入发展低谷期。尽管遭遇挫折,中芯国际仍然为中国集成电路产业培养了大量人才,积累了宝贵的技术经验。

3.2 龙芯 CPU 的诞生:打破 "无芯" 历史

2001 年,中国在通用 CPU 领域实现了历史性突破。在 "八五"" 九五 " 期间连续 10 年没有部署通用处理器(CPU)研制项目的背景下,中国科学院计算技术研究所所长李国杰心急如焚。​2001 年,计算所下决心拿出 1000 万元的 "家底",设立通用处理器研制项目

在李国杰的支持下,33 岁的胡伟武带领团队开始了龙芯处理器的研制工作。课题组非常简陋,只有十来个人、100 万元经费和一间 50 平方米大小的实验室。​2002 年 8 月 10 日,"龙芯 1 号" 研制成功,结束了中国人只能用国外处理器制造计算机的历史,被誉为民族科技史上的一个里程碑

龙芯的发展历程充满了挑战和突破。2005 年,"龙芯二号" 在北京人民大会堂正式发布。龙芯团队选择了一条不同于当时主流的英特尔 X86 架构的道路,而是采用了当时相对较少厂商使用的 MIPS 架构。2020 年,龙芯推出自主设计的 LoongArch 架构,2021 年 3A5000 成为首款支持该架构的产品,实现了从指令集、微架构到芯片设计的完全国产化。

3.3 产业政策的重大转折

2000 年成为中国集成电路产业政策的重要转折点。​2000 年 6 月,国务院颁布了《鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》("18 号文"),明确将集成电路列为重点发展产业。这一政策的出台,标志着中国将集成电路产业提升到了国家战略的高度。

2006 年,国家在《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006—2020 年)》中设立了两个重要的国家科技重大专项:​ "核心电子器件、高端通用芯片及基础软件产品"(简称 "核高基专项")和极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(简称 "集成电路装备专项")

3.4 光刻机技术的持续追赶

进入 21 世纪,中国光刻机技术继续发展。1989 年,作为国内研发半导体设备的主要研究所,装备子集团 45 所启动了 BG-102 型分步投影光刻机项目。​1999 年 1 月,经原信息产业部鉴定,BG-102 型分步投影光刻机性能达到国外 90 年代初期水平

2002 年,上海微电子装备有限公司承担了 "十五" 光刻机攻关项目,中电科 45 所把此前从事分步投影光刻机的团队迁到了上海,参与这个项目。这标志着中国光刻机研发进入了新的阶段,开始向更高技术水平迈进。

四、自主攻坚时期(2010-2019):政策与资本的双轮驱动

4.1 国家集成电路产业投资基金的成立

2014 年成为中国集成电路产业发展史上的又一个重要节点。​国家集成电路产业投资基金("大基金")于 2014 年 9 月成立,注册资本 987.2 亿元,最终募集金额 1387 亿元,存续期 15 年,重点投向集成电路制造环节,覆盖设计、封装测试等领域

大基金一期的投资方向明确,聚焦集成电路制造,兼顾设计、封测、设备、材料等环节,合计投资企业 70 余家。其中,​投资占比为制造(67%)、设计(17%)、封测(10%)和装备材料类(6%)

2019 年 10 月,大基金二期成立,募资规模达到 2042 亿元。大基金二期的投资方向更加聚焦半导体产业薄弱环节,如晶圆制造、设备、材料、工具、封测等领域,合计投资企业 60 余家。

4.2 中芯国际的技术突破与国际竞争

2010 年代,中芯国际在技术突破方面取得了重要进展。​2015 年,中芯国际实现 28 纳米工艺量产,首次与国际主流逻辑节点接轨,并成功切入智能手机处理器、基带芯片等高端市场,客户包括华为海思、紫光展锐等本土设计龙头

2017 年成为中芯国际发展的关键年份。这一年,梁孟松加盟中芯国际,带来了先进制程技术经验,推动公司向 28 纳米及以下制程突破。​2019 年 4 月,14 纳米 FinFET 工艺量产,标志着中国大陆首次进入先进制程领域,打破国外技术垄断

在国际市场竞争中,中芯国际的地位不断提升。2024 年,全球市场份额升至 6%,成为全球第三大晶圆代工厂,14 纳米及以下先进制程收入占比持续提升。2025 年第一季度,中芯国际的市场占有率从 5.5% 提升至 6%,与三星的市占率差值从 2024 年年底的 3.2 个百分点压缩至 1.7 个百分点。

4.3 华为海思的崛起与挑战

华为海思的发展历程体现了中国芯片设计企业的成长轨迹。​作为华为旗下的全资子公司,海思从 2004 年开始独立运营,原本只是为华为内部做定制芯片,结果一路发展到手机、基站、AI 服务器、IoT 芯片等全线开花,逐渐成为国内自主芯片体系的旗帜型存在

华为海思在技术创新方面展现出了强大的实力。其麒麟系列 CPU 引领行业发展,在高端智能手机芯片领域与高通、苹果等国际巨头展开竞争。然而,2019 年美国将华为列入实体清单,禁止美国公司供应芯片,这一举措对华为海思造成了巨大冲击。

面对技术封锁,华为海思展现出了强大的韧性。2023 年,华为 Mate 60 Pro 搭载麒麟 9000S 芯片发布,该芯片采用中芯国际 7nm 工艺,实现了去美化生产,成为中国半导体产业突破封锁的标志性事件。

4.4 存储芯片产业的突破

2010 年代,中国在存储芯片领域也实现了重要突破。2005 年,朱一明等在美国硅谷从事芯片设计的工程师回国,在北京中关村创立了兆易创新,目标是让中国拥有自己的存储芯片。

2012 年,兆易创新在上交所成功上市,成为中国首家纯存储芯片设计上市公司。真正的转折点出现在 2017 年,兆易创新联合合肥产投共同投资成立长鑫存储 CXMT,目标直指 DRAM 国产化

长鑫存储的发展取得了显著成果。2024 年,长鑫存储的研发投入达到 50 亿元人民币,重点突破 DDR5 内存技术,预计到 2025 年将实现 DDR5 内存的规模化生产。在技术水平方面,长鑫 17.5nm DDR5 良率正在爬坡中,与三星、美光同代;HBM 技术仍落后 2 代,但已经在快速追赶。

4.5 光刻机技术的加速追赶

2010 年代,中国光刻机技术发展进入了新的阶段。上海微电子装备有限公司成为国内光刻机研发的主力军,其已量产的光刻机中性能最好的最高可实现 90nm 制程节点。

在先进制程光刻机方面,上海微电子取得了重要突破。​2024 年,上海微电子的 28 纳米光刻机良率突破 90%,自带的电子束校准系统性能与 ASML 的中端机型相当。上海微电子已经制定了明确的时间表:28 纳米浸没式 DUV 光刻机 2025 年量产,一年能造 50 台;用 LDP 技术的 EUV 原型机 "Hyperion1" 已经开始试产,2026 年三季度完成量产验证

在 EUV 光刻机技术方面,中国也在积极布局。中国自 2017 年启动 EUV 自主攻关,目前已在光源、光学系统等关键领域取得突破,但整体仍处于 "从 0 到 1" 的攻坚阶段。

五、逆势崛起时期(2020-2025):生态构建与未来挑战

5.1 大基金三期的成立与战略布局

2024 年,中国集成电路产业迎来了新的发展机遇。​国家集成电路产业投资基金三期(大基金三期)于 2024 年 5 月 24 日正式成立,注册资本高达 3440 亿元,超越前两期总和 3428 亿元,刷新全球半导体专项基金规模纪录

大基金三期的投资方向更加聚焦,明确 "设备材料国产化(70% 资金)+ 先进封装与 AI 存储(30% 资金)" 双主线,直指产业链薄弱环节与未来增量市场。在具体投资重点方面,大基金三期重点关注半导体 "卡脖子" 环节,如光刻机、光刻胶、先进制程芯片(5nm 以下)、HBM 存储等。

2024 年 12 月 31 日,大基金三期首次出手,出资 1640 亿元,投资华芯鼎新股权投资基金和国投集新股权投资基金。这一投资标志着中国对半导体产业的支持力度达到了新的高度。

5.2 先进制程技术的突破与挑战

2020 年代,中国在先进制程技术方面取得了重要突破。在逻辑芯片领域,​中芯国际 14 纳米工艺已经量产,7 纳米和 5 纳米制程技术研发快速推进。然而,与国际先进水平相比仍存在差距。中芯国际 14nm 工艺晶体管密度仅 3600 万个 /mm²,7nm(N+2 工艺)良率约 60%,落后国际 3-4 代(约 8-10 年)。

在存储芯片领域,中国也取得了显著进展。长江存储 294 层 3D NAND(Xtacking 4.0)于 2025 年 Q2 量产,密度 19.8 Gb/mm²,与三星 236 层、美光 232 层互有胜负。这表明中国在 3D NAND 技术方面已经接近国际先进水平。

值得注意的是,中国通过 DUV 光刻机驱动的设计工艺协同技术(DTCO),实现了更加先进的芯片制造技术。据美国技术机构 SemiAnalysis 发布的报告显示,​中国推出的 N+3 制造工艺并不是所谓的 5nm 技术,而是一种介于 7nm 之上、5nm 之下的技术节点,相当于是基于 7nm 升级而来的 6nm 技术

5.3 光刻机技术的重大进展

2024-2025 年,中国光刻机技术取得了突破性进展。​上海微电子的 28nm 浸没式 DUV 光刻机正式进入量产验证阶段,计划 2025 年内交付 10 台以上设备,套刻精度达到 8nm 以内,良率达到业内认可水平,核心部件国产化率超 85%

在技术参数方面,上海微电子的 28nm 光刻机虽然在光源功率(ASML 可达 80-120W)和量产效率上还有差距,但已经实现了 "从 0 到 1" 的跨越,能满足国内中芯国际、华虹宏力等厂商的成熟制程需求。

EUV 光刻机技术方面也取得了重要进展。中国 EUV 光源功率突破 300 瓦,已接近国际同代水平,代表着长期被封锁的极紫外光技术核心部件取得了世界级突破。在光学系统方面,国望光学研发的 EUV 光刻物镜系统波像差优于 0.75nm RMS,接近国际先进水平,但与蔡司的 0.3nm 级精度仍存在代差。

5.4 产业生态的全面构建

2020 年代,中国集成电路产业生态建设取得了全面进展。在设计工具方面,华大九天在模拟电路设计全流程 EDA 工具上实现突破,可支持 5nm 工艺,但数字芯片设计工具链仍不完整,7nm 以下制程依赖进口工具。

在制造设备方面,国产 90 纳米制程的深紫外光刻机实现量产,适用于集成电路生产中的成熟工艺节点,如功率芯片、显示面板驱动芯片等中低端产品的制造,28 纳米制程深紫外光刻机加速开发。国产刻蚀机已被国内存储器和逻辑芯片制造商使用,支持 7 纳米及以下工艺制程,性能达到国际领先水平。

在材料领域,上海新昇半导体实现 12 英寸大硅片量产,光刻胶、靶材等国产化率提升。这些进展为中国集成电路产业的自主可控发展奠定了重要基础。

5.5 国际技术封锁的升级与应对

2020 年代,美国对中国的技术封锁进一步升级。2019 年 5 月,美国将华为列入实体清单,禁止美国公司供应芯片。2022 年 10 月,美国商务部发布新规,切断中国获取高端 AI 芯片路径,针对英伟达 A100 系列实施禁售,并禁止出口 14 纳米以下芯片制造设备。

2023 年 10 月,美国更新规则,扩大限制,长江存储等企业中招。进入 2024 年,美国 12 月 2 日把 136 家中国实体扔进实体清单,管制半导体设备、软件和高带宽存储器。

面对技术封锁,中国企业展现出了强大的应对能力。在 EDA 工具方面,尽管美国的管制对先进制程(7nm 以下)设计造成直接冲击,但​国产 EDA 在 28nm 制程已实现全流程覆盖,市占率从 2022 年的 12% 跃升至 2025 年的 45%

在芯片设计方面,国产 AI 芯片市场份额预计 2026 年突破 50%,摩尔线程在 GPU 架构设计、软件生态适配领域实现突破。在制造方面,中芯国际通过 DUV 多重曝光技术,实现了 7nm 级别的芯片生产,华为 Mate 60 Pro 的成功发布就是最好的证明。

六、国际对比:在追赶中实现部分超越

6.1 技术制程的差距与追赶

在全球半导体技术竞争格局中,中国与国际先进水平的差距正在逐步缩小。在逻辑芯片制造方面,台积电和三星已经实现 3nm 量产,而​中国的 3nm 量产与 Intel 的 1.4nm 仍差 1 代

在存储器技术方面,差距正在快速缩小。长鑫 17.5nm DDR5 良率正在爬坡中,与三星、美光同代;HBM 技术方面,美光 2025 年将推出 HBM3E,而中国刚量产 HBM2E,仍落后 2 代。在 3D NAND 技术方面,长江存储 294 层产品已经量产,与三星 236 层、美光 232 层互有胜负,显示出中国在这一领域已经接近国际先进水平。

光刻机技术方面的差距仍然明显。​ASML 的 EUV 3400B 制程节点可达到 5nm,而上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的最高可实现 90nm 制程节点。高盛报告指出,中国自主光刻机目前仅能稳定支持 65nm 制程,与 ASML 的 5nm 设备存在约 20 年差距。

6.2 全球晶圆代工市场格局的变化

在全球晶圆代工市场中,中国企业的地位正在快速提升。根据最新数据,2025 年第一季度全球晶圆代工市场格局为:​台积电以 67.6%-70.2% 的份额稳居榜首,三星以 7.35% 的份额位列第二,中芯国际以 5.1%-6% 的份额位居第三,联电以 4.4% 的份额位列第四

中芯国际的发展势头强劲。其市场占有率从 5.5% 提升至 6%,与三星的市占率差值从 2024 年年底的 3.2 个百分点压缩至 1.7 个百分点,从曾经的第五名,超过了格芯、联电,直接升至第三名。这一变化反映了中国晶圆代工企业在技术能力和市场竞争力方面的显著提升。

6.3 设备与材料的国际依赖

尽管中国在制造能力方面取得了重要进展,但在关键设备和材料方面仍然存在较大的国际依赖。在光刻机方面,中国主要从荷兰 ASML、日本尼康和佳能等公司进口。

根据 ASML 的财报数据,​2024 年,中国从 ASML 购买了 101.9 亿欧元(约 800 亿元人民币)的光刻机,占 ASML 总营收的 36.1%。从 1986 年到 2023 年底,中国购买的 ASML 光刻机和计量设备近 1400 台

2023 年的数据显示,中国光刻机进口总额 87.54 亿美元,其中荷兰占 82.6%,达 72.3 亿美元,同比增长 183.8%。半导体设备进口总额 335.1 亿美元,光刻机 107.2 亿美元,89% 从荷兰进口。

在材料方面,日本是中国半导体材料的主要供应国。2023 年中国从日本进口半导体设备约 100 亿美元,包括蚀刻和沉积工具,与光刻机配套使用。光刻胶、硅片等材料依赖进口,日本占比超 70%。

6.4 技术封锁的影响与反制

美国对中国的技术封锁产生了复杂的影响。一方面,封锁措施确实给中国企业带来了困难。华为在 2019 年受到美国的出口管制措施之后,营收出现了急剧下滑。在 EDA 工具方面,断供对先进制程(7nm 以下)设计造成直接冲击,导致设计周期延长 10%-20%。

另一方面,技术封锁也激发了中国企业的自主创新能力。​国产 EDA 在 28nm 制程已实现全流程覆盖,市占率从 2022 年的 12% 跃升至 2025 年的 45% 。在制造设备方面,国产刻蚀机已被国内存储器和逻辑芯片制造商使用,支持 7 纳米及以下工艺制程,性能达到国际领先水平。

ASML 首席执行官克里斯托夫・富凯曾警告:"美国芯片出口限制,不仅会削弱 ASML 在半导体行业的主导地位,还将适得其反,进一步促进中国自立自强。"2025 年 8 月,美国国会研究处(CRS)发布的研究报告显示,大多数美半导体企业收入依赖中国市场,长期割裂将加速中国自主替代进程,反而削弱美国优势。

七、挑战与机遇:在困境中寻求突破

7.1 技术瓶颈与人才短缺的双重挑战

中国集成电路产业面临着技术瓶颈与人才短缺的双重挑战。在技术方面,​中国集成电路产业虽已建立起较为完整的产业链条,但在高端制造、关键设备、基础材料、自主知识产权组件(IP)和 EDA 工具等方面仍存在技术瓶颈,严重制约整体产业水平提升

在人才方面,短缺问题尤为突出。截至 2024 年底,中国集成电路产业从业人员总数约 60 万人,其中高端研发人才不足 10 万人。这种结构性矛盾导致中国集成电路产业整体良率提升缓慢,2024 年全国集成电路平均良率仅为 92.3%,低于国际主流水平 3 个百分点。

猎聘大数据显示,2024 年集成电路行业 TSI(人才紧缺指数)均值达 2.3,其中模拟芯片设计、数字前端工程师等岗位 TSI 超过 3.0,对应 75 分位年薪分别达 62.29 万元和 66.48 万元,但企业平均招聘周期仍长达 45 天。预计 2025 年中国集成电路产业人才缺口将突破 30 万。

7.2 市场需求的爆发式增长

尽管面临挑战,中国集成电路产业也迎来了巨大的发展机遇。市场需求方面,​2024 年中国集成电路市场规模达 1.29 万亿元,占全球 25% 份额。展望未来,随着人工智能、新能源汽车、5G 通信、物联网等新兴应用对高性能、低功耗芯片需求的爆发式增长,预计 2026 至 2030 年中国半导体集成电路市场将保持 12% 以上的年均增速,到 2030 年整体规模有望突破 3.8 万亿元。

在具体应用领域,国产车规级算力芯片市占率预计 2025 年将突破 25%。国产 AI 芯片市场份额预计 2026 年突破 50%,摩尔线程在 GPU 架构设计、软件生态适配领域实现突破。

7.3 政策支持的持续加码

政策支持为中国集成电路产业发展提供了强大动力。国家推出了一系列针对性政策:一方面,设立总规模超万亿元的半导体产业大基金,重点投资芯片设计、制造、封测等核心环节;另一方面,出台税收优惠政策,​芯片企业的研发费用加计扣除比例提至 100%,制造业企业还能享受所得税减免,大幅降低了企业的经营成本

"十五五" 规划明确将半导体材料、核心设备纳入重点攻坚清单,掩膜版、光刻胶等关键品类被列为自主化核心目标,政策红利持续释放周期明确。《国家鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》明确提出要加大对中国半导体产业的支持力度。

7.4 技术创新的多元化路径

面对技术封锁,中国企业正在探索多元化的技术创新路径。在制造技术方面,中芯国际巧妙地利用深紫外(DUV)光刻结合复杂的多重图案化技术,这种复杂的方法允许创建更小的特征和更密集的晶体管布局,有效地推动了 DUV 技术的极限。

在架构创新方面,通过 Chiplet(芯粒)和 3D 堆叠等技术创新,在系统层面弥补单个芯片性能的不足,成为突破先进制程限制的可行路径。复旦大学团队研发的全球首颗二维 - 硅基混合架构芯片,将二维超快闪存与成熟硅基 CMOS 工艺深度融合,芯片良率超过 94%。

在新材料方面,北京大学团队成功研制高精度模拟矩阵计算芯片,将传统模拟计算准确度提升五个数量级;清华大学开发出全球首款亚埃米级快照光谱成像芯片 "玉衡",光谱成像分辨能力提升两个数量级。

7.5 产业链协同发展的新模式

中国正在构建集成电路产业全链条创新协同能力。"十五五" 时期及以后,要构建由产业链上下游不同环节的企业、各类产学研主体和各级政府共同参与的,以全球需求和前沿技术问题为中心的创新协调机制,构建真正的集成电路产业全链条创新协同能力。

在具体实践中,不同企业选择了不同的发展模式。华润微选择了 Foundry 模式,在此基础上采用了 CMOS+MEMS 协同的生产运营思路。霍尼韦尔选择 "以系统思维指导单点突破",通过洞察产业链全局需求,精准投入技术研发;华海诚科、雅克科技等则选择 "由点带面",先在细分领域建立优势,再逐步拓展业务边界。

结语:在历史的转折点上

回顾 76 年的发展历程,中国集成电路产业从无到有、从跟跑到并跑,书写了一部波澜壮阔的产业发展史诗。从 1956 年将半导体技术列入国家重点发展领域,到 2025 年在部分领域实现技术突破,中国用几代人的努力证明了自主创新的可能性和必要性。

当前,中国集成电路产业正处于历史的转折点上。一方面,美国等西方国家的技术封锁日益加剧,在先进制程、高端设备、核心材料等方面形成了严密的技术壁垒;另一方面,中国在成熟制程、特色工艺、芯片设计等领域展现出了强大的创新活力和市场韧性,在部分领域已经接近或达到国际先进水平。

展望未来,中国集成电路产业的发展将呈现以下趋势:

技术创新将更加多元化。面对先进制程的技术封锁,中国企业将更多地依靠架构创新、材料创新、系统创新等方式,在不同技术路径上实现突破。Chiplet、3D 堆叠、新材料应用等技术将成为重要的创新方向。

产业链协同将更加紧密。从 "单点突破" 转向 "系统协同",从 "政府主导" 转向 "市场主导",从 "技术追赶" 转向 "生态构建",中国将构建更加完善的集成电路产业生态系统。

市场需求将持续爆发。随着人工智能、新能源汽车、5G 通信、物联网等新兴应用的快速发展,中国集成电路市场将保持高速增长,为产业发展提供强大的内生动力。

国际合作将呈现新格局。尽管面临技术封锁,中国仍将在开放合作中寻求发展机遇,通过 "一带一路" 等平台,加强与其他国家和地区的技术交流与产业合作。

站在 2025 年的时间节点上,中国集成电路产业正迎来新的发展机遇。大基金三期 3440 亿元的投资、"十五五" 规划的战略布局、企业创新能力的不断提升,都为产业发展注入了强大动力。虽然在先进制程、高端设备等方面仍面临挑战,但中国集成电路产业已经具备了在部分领域实现引领的能力。

正如黄昆、谢希德等老一辈科学家所倡导的 "从第一原理出发" 和 "善于提出科学问题" 的治学精神,中国半导体人将继续在自主创新的道路上勇攀高峰。​从 1956 年五校联合班的星星之火,到麒麟芯片打破封锁,产业虽屡遭技术断供、人才流失与国际诉讼,却在自主创新与全产业链整合中重塑竞争力

未来,中国集成电路产业将继续秉承 "站起来" 的自信心,在全球半导体产业格局重构中占据更加重要的地位,为人类科技进步做出更大贡献。这不仅是一个产业的发展历程,更是一个民族在科技自立自强道路上的壮丽征程。



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中国EUV光刻机什么时候能造出来?中国的集成电路产业始于什么时期? - IT史话, 光刻机, 半导体, 国产替代, 集成电路

一叶
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