6月1日上午，SK海力士位于韩国清州的第四园区（Cheongju 4th campus）发生火灾，导致高毒性氟气泄漏，工厂内约3600名员工紧急疏散。据韩联社报道，事故发生在连接M15与M15X工厂的六楼气体室，该室存放有氟气（fluorine gas）相关设备、储罐和管道。火灾于当地时间10时23分左右开始，喷水灭火系统迅速将明火扑灭，但氟气仍泄漏至室内，浓度估计为5 ppm（百万分之一）。
事件经过与伤者情况
据韩国媒体消息，火灾发生时气体室内共有七名工人，事后均被送往医院。其中五人因眼睛受到刺激正在接受治疗，另外两人留院观察。SK海力士方面向韩联社表示：“设备运行没有问题，不会造成生产中断。”目前现场仍在进行清理作业，事故具体原因尚在调查中，有消息称火灾可能源于气体管道，但此说法尚未得到确认。
氟气危害与浓度评估
氟气是一种高反应性气体，接触常见材料可能引发自燃或爆炸，同时对人体具有剧毒。根据相关数据，暴露于25 ppm以上的氟气会严重刺激眼睛和呼吸系统，并可导致肝肾功能损伤；浓度达到100 ppm时，眼睛和鼻子会遭受严重损害；吸入1000 ppm的氟气可在数分钟内致死。本次泄漏浓度约为5 ppm，低于上述严重阈值，但已造成多名工人眼部不适，凸显了半导体工厂中有毒气体安全管理的严峻性。
SK海力士清州第四园区是该公司先进的存储芯片生产基地，主要生产DRAM等存储器产品。尽管此次事故并未影响核心生产设备，但工厂仍需完成环境净化和空气质量检测后方能恢复正常运转。截至目前，官方强调生产计划未受影响，未对全球存储器供应造成即时冲击。
本文参考来源：Tom's Hardware
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